NanoMotion™ II 高性能微定位
解析能力 10 nm
双向重复性 ± 100 nm
绝对精度 ± 1 μm
行程范围 25 mm
最大负荷值 196 newtons

NanoMotion™ II 高性能微定位系统由NanoMover™ 精确线性马达、精确运动控制驱动器和控制软件结合。它使现有的精密微调节过程实现自动化，在实验室和生产环境均能替代传统调节装置而获得更好的精密过程控制。NanoMotion II 系统的高解析能力和超强可重复性及精确的特征使其能够应用在广泛的领域，例如光电技术、半导体、生物工艺学、医学和电讯产业。

NanoMover 马达把精确测微螺旋结合到步进电机，通过结合电子设备和软件，精确驱动器有能力提供对2个NanoMover 马达的控制。基于适应性的设计，驱动器可以设定为通过PC ISA、RS-232或IEEE-488接口和主机通信。另外, 根据用户需要最多8个驱动器可连接到一起提供对16个马达的控制。无与伦比的性能，紧凑的尺寸和简单的用户界面让NanoMotion II 高性能微定位系统成为当今微距自动调节装置的最佳选择，适合于实现最苛刻的运动控制的应用。

适应用户的应用
NanoMotion II 系统易于集成到多样的应用如精确显微检查台、可调激光源、半导体计量设备和光通讯器件组装微调装置等各种需精密驱动、定位的场合。模块化设计允许多驱动器连接控制最多16个马达，每个驱动器控制2个马达。基于用户当前的需求，驱动器从工厂中被正确的装配和设定。如需改动，可以通过更换通信板或安装总线扩展卡重新配置驱动器。NanoMover 线性马达轻松的通过直径10 mm轴取代手工测微, 免去手工调节而提高效率和精确度。可选择的球顶或平顶微距头端面适应用户独特的应用要求。

特点
l 高解析能力的领导者
NanoMotion II 系统通过高精密度、可重复性和解析能力的结合胜过其他所有步进电机和伺服电机 。

l 可编程序的加速段
每个行动轴可以分为四个独立的加速/减速段，用于微调NanoMover 马达运行，适应特殊的负荷或应用。

l 性能保证
使用激光干涉测量法, 每个NanoMover 马达经检验都具有± 1μm的绝对准确性和小于 ± 100 nm的双向重复性。每个NanoMover马达都提供校准数据曲线图 。

l 步进/保持电流
两档电流使系统的热效应达到最小值，并提供一个更稳定的操作环境。在工作期间，用“步进”电流。在固定时，更低的“保持电流”提供恰好足够的扭矩保持位置。

l 可选操纵杆
为应用于简单动作命令的需求，NanoMotion II 系统可以用标准操纵杆控制，削减了主机的需求并减少了系统的成本。

l 可选限位开关
光断型或接触型限位开关可以通过接口连接到NanoMotion II 驱动器上，为敏感设备连接NanoMover 马达提供附加的保护级别。